高分辨率掃描電鏡是利用極細的電子束在樣品表面進行掃描，激發出各種信號，通過這些信號來獲得材料表面形貌、組成及其他性質的信息的一種顯微鏡。其主要由以下部件組成：
1、電子槍：電子槍是產生電子的源，通常采用熱發射或場發射方式工作。在高分辨率掃描電鏡中，場發射電子槍因其能夠產生高亮度和高相干性的電子束而更常被使用。
2、電磁透鏡系統：包括會聚透鏡、物鏡和掃描線圈。會聚透鏡用于聚焦電子束至微小直徑，物鏡則進一步將電子束聚焦到樣品上，而掃描線圈控制電子束在樣品表面的掃描路徑。
3、樣品室：樣品室內部可以容納樣品并進行精確的位置控制，同時保持高真空環境，以減少空氣分子對電子束的散射和對樣品的污染。
4、真空系統：為了確保電子在傳輸過程中不受空氣分子影響，并且保護電子源和探測器等敏感組件，需要維持高真空狀態。
5、二次電子探測器：當電子束照射到樣品上時，會產生二次電子，這些電子攜帶著樣品表面的形貌信息。通過收集并分析這些二次電子信號，可以獲得樣品的表面圖像。
6、背散射電子探測器：背散射電子是入射電子與樣品原子核相互作用后反射回來的電子。這些電子的信號可以用來分析樣品的成分信息。
7、樣品制備設備：根據所研究的樣品類型，可能需要特殊的制備方法，如離子減薄、斷裂、切割等，以保證樣品能夠在電子顯微鏡下得到清晰的成像。
其設計和性能可能會因不同的制造商和型號而異，但上述部件是構成大多數高分辨率掃描電鏡的基本組成部分。
